
一、实验目的:
评估高效空气过滤器对整个排版房洁净度的影响。
二、实验日期:
2006/08/24、2006/08/25、2006/08/28。
三、实验仪器: 表一
| 编号 | 材料名称 | 厂商 | 规格 | 数量 |
| 1 | 尘埃粒子测试仪 | 川嘉 | CJ-HLC200 | 1台 |
四、实验步骤:
1)因为我司排板房是10万级,要求0.5um的尘埃粒子数量不超过10000个,只对0.5um的尘埃
粒子数进行测试(测试数据见附下表)。
2)2006/08/24和2006/08/25分别测试5点(A、B、C、D、E),每点测试3次,每次测1分钟;取每次的平均值作为本点的尘埃粒子的数量,测试时间分别按:未开机、开机2H、4H、6H、8H。
3)2006/08/28分别对高效过滤器的进风口和出风口的尘埃粒子进行测试,分别在高效空气过滤器的3周测试3点(A、B、C),每点测试3次,每次测1分钟;取每次的平均值作为本点的尘埃粒子的数量,测试时间分别按:开机1H、5H、7H。
五、实验测试数据及数据分析:
1、尘埃粒子为2006/08/24日0.5um测试数据。 表二
| 测试地点 | 开机时间 | 测试次数 | 平均值 | ||
| 1 | 2 | 3 | |||
| A点 | 未开机(9:20) | 2243 | 2368 | 2121 | 2244 |
| 2.0H(11:15) | 1272 | 1253 | 1198 | 1241 | |
| 4.0H(13:20) | 920 | 588 | 622 | 710 | |
| 6.0H(15:20) | 796 | 745 | 741 | 760.6 | |
| 8.0H(17:10) | 623 | 598 | 602 | 607.6 | |
| B点 | 未开机(9:20) | 2051 | 1998 | 2069 | 2039.3 |
| 2.0H(11:15) | 1836 | 1789 | 1763 | 1796 | |
| 4.0H(13:20) | 847 | 1085 | 853 | 928.3 | |
| 6.0H(15:20) | 469 | 381 | 395 | 415 | |
| 8.0H(17:10) | 636 | 471 | 402 | 503 | |
| C点 | 未开机(9:20) | 844 | 867 | 839 | 850 |
| 2.0H(11:15) | 513 | 503 | 561 | 525.6 | |
| 4.0H(13:20) | 783 | 486 | 487 | 585.3 | |
| 6.0H(15:20) | 197 | 162 | 152 | 170.3 | |
| 8.0H(17:10) | 150 | 157 | 146 | 151 | |
| D点 | 未开机(9:20) | 941 | 688 | 703 | 710.3 |
| 2.0H(11:15) | 329 | 345 | 308 | 327.3 | |
| 4.0H(13:20) | 593 | 539 | 961 | 697.6 | |
| 6.0H(15:20) | 277 | 326 | 345 | 316 | |
| 8.0H(17:10) | 109 | 92 | 177 | 126 | |
| E点 | 未开机(9:20) | 740 | 688 | 703 | 710.3 |
| 2.0H(11:15) | 600 | 582 | 620 | 600.6 | |
| 4.0H(13:20) | 979 | 726 | 594 | 766.3 | |
| 6.0H(15:20) | 197 | 219 | 213 | 209.6 | |
| 8.0H(17:10) | 218 | 147 | 155 | 173.3 | |
有上表二可作A、B、C、D、E点0.5um尘埃粒子随时间变化趋势图如下:
A点:从未开机到开8H时尘埃粒子数量有较明显的下降趋势,除尘率分别为:44.7%、68.4%、
66.1%、72.3%.平均除尘率63%.高效空气过滤器除尘效果较明显.如下图:

B点:从未开机到开机8H时有较明显的下降趋势,但是从4H到6H时有较小的波动.除尘率分别为:
12%、54%、79.6%、75.3%平均除尘率为55%。高效空气过滤器除尘效果较明显。如下图:

C点:从未开机到开机8H时有较明显的下降趋势,但是从4H到6H时有较小的波动.除尘率分别为:38%、31%、80%、82%平均除尘率为57.8%、高效空气过滤器除尘效果较明显。如下图:

D点:从未开机到开机8H时有较明显的下降趋势,但是从2H到4H时有上升的波动.除尘率分别为:53.9%、1.8%、55.5%、82.3%平均除尘率为48.4%、高效空气过滤器除尘效果比较明显,但是出于不稳定状态.如下图:

E点:从未开机到开机2H时间段有减少的趋势,开机4H时有7.3%的上升,此时间有排板房员工清洁机器,造成尘埃粒子处于较大的流动状态.从4H到8H分别有70.5%和75.6%除尘效果.如下图:

2、尘埃粒子为2006/08/25日0.5um测试数据: 表三:
| 测试地点 | 开机时间 | 测试次数 | 平均值 | ||
| 1 | 2 | 3 | |||
| A点 | 未开机(9:20) | 1253 | 1137 | 1377 | 1255.6 |
| 2.0H(11:15) | 1209 | 1007 | 954 | 1056.6 | |
| 4.0H(13:20) | 1452 | 1187 | 1549 | 1396 | |
| 6.0H(15:20) | 3089 | 3028 | 3048 | 3055 | |
| 8.0H(17:10) | 2879 | 2316 | 1906 | 2367 | |
| B点 | 未开机(9:20) | 699 | 1262 | 1295 | 1085.3 |
| 2.0H(11:15) | 640 | 675 | 791 | 699 | |
| 4.0H(13:20) | 1122 | 1389 | 1136 | 1215.6 | |
| 6.0H(15:20) | 1498 | 1422 | 854 | 1258 | |
| 8.0H(17:10) | 1128 | 1322 | 1338 | 1262.6 | |
| C点 | 未开机(9:20) | 1203 | 1280 | 1431 | 1304.6 |
| 2.0H(11:15) | 1403 | 1475 | 1642 | 1506.6 | |
| 4.0H(13:20) | 1433 | 1678 | 1525 | 1545.3 | |
| 6.0H(15:20) | 2097 | 2100 | 2408 | 2201.96 | |
| 8.0H(17:10) | 1355 | 1028 | 642 | 1008.3 | |
| D点 | 未开机(9:20) | 1319 | 1516 | 1356 | 1397 |
| 2.0H(11:15) | 1255 | 1152 | 1052 | 1153 | |
| 4.0H(13:20) | 957 | 1087 | 1132 | 1058.6 | |
| 6.0H(15:20) | 1668 | 1596 | 1526 | 1596.6 | |
| 8.0H(17:10) | 273 | 229 | 217 | 239.6 | |
| E点 | 未开机(9:20) | 1193 | 1094 | 1187 | 1158 |
| 2.0H(11:15) | 899 | 835 | 792 | 842 | |
| 4.0H(13:20) | 1262 | 1199 | 1329 | 1263.3 | |
| 6.0H(15:20) | 1418 | 1312 | 1393 | 1375 | |
| 8.0H(17:10) | 219 | 230 | 217 | 222 | |
A点:25日生产6006196A0生产板,未开机和开机2H、4H、6H、8H时间一直处于上升状态高效空气过滤器效果不明显.如下图:
B点:25日生产6006196A0生产板,开机2H除尘率有35.6 %其于处于较平衡状态,,高效空气过滤器效果不明显.如下图:

C点:5日生产6006196A0生产板,尘埃粒子波动状态,高效空气过滤器效果不明显.如下图:
D点:25日生产6006196A0生产板,尘埃粒子波动状态,高效空气过滤器效果不明显.如下图:

E点:25日生产6006196A0生产板,尘埃粒子波动状态,高效空气过滤器效果不明显.如下图:

3、2006/08/28日高效空气过滤器进风口和出风口0.5um尘埃粒子测试数据:
进风口0.5um测试数据: 表四:
| 测试地点 | 开机时间 | 测试次数 | 平均值 | ||
| 1 | 2 | 3 | |||
| A点 | 1.0H(10:00) | 2765 | 2703 | 3182 | 2883.3 |
| 4.0H(14:00) | 1280 | 1317 | 1322 | 1306.3 | |
| 7.0H(17:00) | 875 | 851 | 969 | 898.3 | |
| B点 | 1.0H(10:00) | 2696 | 2605 | 2333 | 2544.6 |
| 4.0H(14:00) | 1346 | 1356 | 1401 | 1367.6 | |
| 7.0H(17:00) | 1011 | 946 | 931 | 962.6 | |
| C点 | 1.0H(10:00) | 1964 | 1871 | 1707 | 1847.3 |
| 4.0H(14:00) | 1296 | 1309 | 1401 | 1335.3 | |
| 7.0H(17:00) | 880 | 859 | 870 | 869.6 | |
A点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段进风口尘埃粒子一直处于下降状态高效空气过滤器效果比较明显.如下图示:
B点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段进风口尘埃粒子一直处于下降状态高效空气过滤器效果比较明显.如下图示:

C点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段进风口尘埃粒子一直处于下降状态高效空气过滤器效果比较明显.如下图示:

出风口0.5um测试数据: 表五:
| 测试地点 | 开机时间 | 测试次数 | 平均值 | ||
| 1 | 2 | 3 | |||
| A点 | 1.0H(10:00) | 834 | 886 | 984 | 901 |
| 4.0H(14:00) | 443 | 136 | 504 | 461 | |
| 7.0H(17:00) | 429 | 423 | 342 | 398 | |
| B点 | 1.0H(10:00) | 1821 | 1843 | 1862 | 1842 |
| 4.0H(14:00) | 520 | 538 | 539 | 532.3 | |
| 7.0H(17:00) | 1011 | 946 | 931 | 962.6 | |
| C点 | 1.0H(10:00) | 1963 | 1840 | 1978 | 1893.6 |
| 4.0H(14:00) | 1296 | 1309 | 1410 | 1335.3 | |
| 7.0H(17:00) | 880 | 859 | 870 | 869.6 | |
A点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段出风口尘埃粒子在此时间段有下降趋势,高效空气过滤器出风口效果较明显.如下图示:
B点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段出风口尘埃粒子在1H、4H、7H之间有不稳定状态的下降趋势,高效空气过滤器出风口效果不是很明显.如下图示:

C点:排版房28日生产6006198A0生产板,开机1H、4H、7H、此时间段出风口尘埃粒子在在1H、4H、7H之间在下降状态高效空气过滤器出风口效果较明显.如下图示:

六、层压合格率对比:
1)、分别按未安装高效空气过滤器之前(32周品质周报):板抽减总数,合格板数,板面凹痕。和安装
高效空气过滤器之后(35周品质周报):板抽减总数,合格板数,板面凹痕。 表六:
| 安装之前(32周) | 抽减总数(套) | 合格板数(套) | 板面凹痕 | 板面凹痕比率 |
| 3596 | 3305 | 216 | 6.01% | |
| 安装之后(35周) | 9014 | 8196 | 359 | 3.98% |
七、实验测试数据分析:
1、从以上2006/08/24日测试数据可以得出从未开机到开机8H之间A、B、C、D、E点都有比较好的除尘效果,A、B、C、D、四点除尘率分别可以达到:63%、55%、57.8%、48.4%,平均可以达到55.9%.高效空气过滤器除尘效果比较明显.
2、从2006/08/25日测试数据可以得出A点没有效果,B、C、D、E四点处于比较大的波动状态,高效空气过滤器除尘效果不明显.
3、2006/08/28日分别对高效过滤器的进风口和出风口的尘埃粒子进行测试,从高效空气过滤器在安装之前和安装之后版面凹痕比率较低。
结论:
从以上数据可以得到以下结论:
综合24日、25日和28日测试数据建议可以将AS-1000高效空气过滤器安装于排板房。
排版房尘埃粒子28日空气过滤器测试分布数据点:
排版房尘埃粒子25日26日测试分布数据:

原文来源:http://www.songfengkou.com/a-481/